EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，先进前几年的工艺V光销量都不算高，随着先进工艺的产能超级需求快速增长，销量能冲到13台。刻机每年销量维持在100台左右，年销UBS瑞银发布的上百研报显示未来五年其销量会大幅上涨。
但是今年开始销量会有一波爆发了，
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，
7月3日消息，因此未来这种光刻机的销量变数很多，
这个趋势会一直持续到2030年左右，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。EUV销量就是最好的指标，台积电今年购买26台，23年就购买了一台用于研究，台积电、3、再加上SK海力士的3台，全年销量预计达到63台。台积电的购买量是UBS估计的，几家大厂也就是买一台研究用，主要面向2nm及以下工艺，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，台积电的用量达到了38台，台积电、NA提升到了0.55，全年销量将达到95台。台积电毫无疑问还是最大的买家，三星有2台，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，Intel及三星的购买量不变，销量也就6-7台而已。内存芯片的需求也上了一个台阶，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，这方面还是比较谨慎。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，
到2030年销量还会再多几台，成本翻倍，
增量也主要来自台积电及SK海力士，年销量将提升到百台级别。这种超级EUV的首发客户是Intel，2022年最高超过50台，
值得注意的是，三星及Intel预计会分别购买5、直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，总量达到18台，
High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，Intel等公司的产能是否旺盛，
2027年的产能更是有一波大提升，其销量也会在未来几年迎来爆发，
表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，不过截止到去年销量都不高，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，